
리얼 타임 마이크로포커스 x-ray 화상 시스템은
첨단의 비파괴 검사 방법 중 하나로 각광을 받고 있다. 이 시스템을
사용하여 모든 금속, 플라스틱 및 세라믹 패키지에 있는 voiding,
porosity, IC die 그리고 Wire bonding, internal seals, solder joint와 같이 숨어
있거나 묻혀진 특징들을 분석할 수 있다.
Benchtop 모델은 완벽한 차폐 시설을 갖추고 있으며 연속 사용에도
안전하도록 제작되었다. 특히 Benchtop은 약간의 교육으로 쉽게
사용할 수 있도록 디자인 되었다.
검사하고자 하는 물체를 x-ray source와 detector 사이에 있는 sample
manipulator에 놓은 후 도어를 닫은 다음 스위치를 넣는다. 샘플을
통과한 x-ray는 image intensifier(화상 증강 장치)의 scintillator (x-ray가
조사되면 발광하는 물질) plate에 도달하게 되고 이 가시광선은
고분해능 CCD 비디오 카메라에 의해 수집된다. 샘플은 전면에 있는
윈도우를 통해서 들여다 볼 수 있으며 모니터에서 동화상을 보면서
5축을 자유로이 조정할 수 있다. 샘플을 적당한 위치에 놓을 수
있도록 조이 스틱으로 콘트롤되는 manipulator에는 x, y, z, rotation, tilt
기능이 들어 있다. x-ray 화상은 psedo 3D, edge and color enhancem-
ent, micrometry, wire sweep 및 % void calculation과 같은 비디오 프로세싱
시스템을 사용하여 보다 편리하게 분석할 수 있다.
100~160 kV의 전압을 사용하여 작은 mechanical component을 포함하여 turbine
blades, castings, 전자 부품, hybrids 및 assemblies, 용접 상태 등을 쉽게
검사할 수 있다. 5 미크론의 포커스를 갖고 있는 UltraFocus 타겟은 IC
bond wire를 검사하는 경우 100배까지 확대가 가능하면서도 선명한
화상을 만들어 낸다.
장비는 손쉽게 설치할 수 있으며 x-ray source, 타겟 및 필라멘트는
사용자가 간단히 교체할 수 있다. PANTAK과 엠케이씨에서는 사용자가
장비를 능숙하게 사용하는데 필요한 충분한 교육을 제공하며
장비의 수명이 다할때까지 필요한 서비스를 제공한다.
마이크로 포커스 X-ray의 적용
IC's and Discretes: package voids, bond defects
Hybrids: die attach voids, lid seals
PC Board Assembly: solder joints, misregistration, multi-layers
Engineering Applications: ceramic components, flyback transformers
Turbine Blades: overdrills, lead edge, trailling edge
Small castings: microporosities/voids, shrinkage, inclusions
Small welded assembly: weld lntegrity, cracks |
모델
Benchtop의 주요 사양
· 튜브 전압: 30 to 100 kV, 125 kV 혹은 160 kV
· 빔 전류: 1mA 최대
· X-ray 전원: 최대
60 W
· 타겟: Indexable tungsten ·
포커스 사이즈: 5 μm 혹은 10 μm ·
확대 기능: 최대 100배
· X-ray 콘트롤 유니트: 수동 혹은 RS232를 사용하여
kV, mA, beam focus 및 alignment를 개별적으로 조절
· 화상 시스템: 고분해능 14인치 흑백 모니터
· Manipulator: 조이
스틱으로 5축 정밀 조정
· 이동 거리: X축: 200 mm, Y축: 200 mm, Z축:
500 mm, 360 ° 회전,
+/- 30 ° tilt
· 캐비넷: 높이: 930 mm, 폭: 950 mm, 깊이:
650 mm
· 옵션: 비디오
프린터/VCR, Heavy Duty cart
· 비디오 프로세싱 시스템(옵션): Pseudo 3D, Edge &
Color Enhancement, Micrometry, Wire sweep and % void
calculation |